等離子增強化學氣相淀積系統(PECVD)

時間：2014-10-22

作者：青島福潤德微電子設備有限公司

詞條
詞條說明
擴散爐
擴散爐由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統等組成。控制系統控制部分包括：溫控器、功率部件、**溫保護部件、系統控制。系統控制部分有四個獨立的計算機控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統的控制中心。擴散爐網絡控制輔助控制系統，包括推舟控制裝置、保護電路、電路轉接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風開關等。較**的擴散爐控制系統均已較新或升級到微
太陽能擴散爐
太陽能電池擴散工藝及其設備太陽能電池擴散工藝及其設備 ????技術方案是：一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴散工藝中通控制抽氣排風壓力，使抽氣排風壓力這個參數保持穩定，抽氣排風壓力這個參數保持穩定，抽氣排風壓力的穩定導致辭磷在硅片中的注入濃度穩定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩定，在后道的燒結中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風壓力通過在機臺排
石英領
?石英軟領為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成，用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫，解決了以往用保溫棉存在的兩大問題：一是保溫棉長時間在高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度，二是手動堵塞保溫棉不均勻，影響工作區溫度穩定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下，不粉化，不變形，不硬化，不氧化，防震，防腐蝕。
鏈帶式焊接爐
鏈帶式焊接爐技術方案鏈帶式焊接爐主要應用于半導體器件，金屬陶瓷，可控硅器件，玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結的連續工作的隧道式結構熱處理爐。一、主要技術指標 1、設計溫度：≤700℃ 2、工作溫度：300℃~600℃ 3、爐內控溫：±5℃ 4、儀表控制精度：±1℃ 5、設備總長度：約10600mm；進出口臺面各為：800mm。 6、加熱區長度：≤3000mm（6段加熱） 7、冷卻區長