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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
旋片式真空泵維修方法:1、在進行真空泵維修之前,準備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準,可省事。確診要驗證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機組以減少由于缺少**工具和操作不當引起新的損傷,減少變化和跑合運轉(zhuǎn)時間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應請用戶**清洗,并告知必要的防護措施,以**維修人員的健
普旭真空泵沒有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝更換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒有潤滑性。普諾克真空解決方法:1.打開加油口、再打開放油閥、泵內(nèi)的大部分泵油可以排出;然后關(guān)閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油*被排出。3.打開加油口,再打開放油閥,然后排出泵油。4.關(guān)閉放油閥,把*的新油按規(guī)
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當它**泵溫下的飽和蒸汽壓時,即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當密閉泵口運轉(zhuǎn)時,已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會溶于油中的物質(zhì),又會在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時油
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
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