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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應的電動機不防爆,如要求防爆或其
真空泵的故障及排除方法:?????1?故障現象:泵的抽氣量不夠?????產生原因;?????(1)真空泵的轉速不夠;?????(2)密封不嚴,在進氣管路的連接處或軸封處漏氣;?&n
潤滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質,還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的較重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很*氧化分解,尤其擴散泵往往處于很高的
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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