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【上海真空泵廠家】真空泵的保養(yǎng)操作及維護(hù)時(shí)間表
真空泵保養(yǎng)操作:維護(hù)時(shí)間表真空泵維護(hù)時(shí)間間隔根據(jù)每個(gè)客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實(shí)際使用狀況,縮短維護(hù)時(shí)間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護(hù)事項(xiàng):檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查排氣過濾器的功能,必要時(shí)請(qǐng)清洗或更換進(jìn)氣過濾器。Ⅳ?每6個(gè)月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)?1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號(hào)普通機(jī)械油)到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空
真空泵更換浮子閥1、回油浮球安裝在油箱內(nèi),泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內(nèi)多余的油收集到油箱內(nèi)部。2、當(dāng)回油浮球失去效果,則在油位較高時(shí)無法堵住油口,后果將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)回油油路無法正常工作。從而間接導(dǎo)致真空泵泵體潤(rùn)滑不夠,或泵體油分過多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩(wěn)定的真空度、延長(zhǎng)真空泵使用壽命的前提下,當(dāng)大保養(yǎng)或維修時(shí)若回油浮球失去效果,請(qǐng)立即更換!浮子適用于普旭旋片式真
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