詞條
詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一?個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。真空泵的使用范圍適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。入口壓力范圍:100Pa~100000&
旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內
????普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉速不夠,且抽氣量是與泵的轉速成正比,則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊,皮帶打滑而降低了轉速,這可調節電機位置,使皮帶張到一定緊度。&n
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網 址: ocsmqh.b2b168.com
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
手 機: 17502155678
電 話: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網 址: ocsmqh.b2b168.com