電壓放大器在反射式小型光學(xué)電場傳感器中的應(yīng)用

時間：2022-03-15作者：西安安泰電子科技有限公司瀏覽：262

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• 功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試研究中的應(yīng)用

  實驗名稱：功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試研究中的應(yīng)用 研究方向：元器件測試 測試目的：隨著MEMS器件在各個領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用，對微結(jié)構(gòu)進行模態(tài)測試獲得其動態(tài)特性參數(shù)對微結(jié)構(gòu)的設(shè)計、、制造、以及質(zhì)量控制和評價等方面具有十分重要的意義。考慮到微結(jié)構(gòu)具有尺寸小、固有頻率高、振幅小等特點，且應(yīng)用于不同環(huán)境中，因此，本文針對在高溫20~300℃環(huán)境下對單晶硅和304不銹鋼等截面矩形微懸臂梁進行模態(tài)測試，提

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